Cung cấp Gas Mass Flow Controller S-300 Sản xuất

Giới thiệu

Hiệu suất caoMFCĐược thiết kế riêng cho ngành bán dẫn.

S300Loạt bộ điều khiển lưu lượng chất lượng kỹ thuật số/Đồng hồ đo lưu lượng: Sử dụng cảm biến lưu lượng tuyệt vời cấp công nghiệp được phát triển độc lập bởi công ty, kết hợp với cấu trúc đường đánh bóng tốt và mạch điều khiển kỹ thuật số và thuật toán có độ chính xác cao để đạt được độ chính xác cao, trôi bằng không thấp và kiểm soát lặp lại cao. Sản phẩm này được trang bị màn hình hiển thị hiện trường và công tắc mã hóa địa chỉ, một loạt các phương pháp truyền thông tùy chọn, con dấu kim loại hoàn toàn có thể được tùy chỉnh, phù hợp với chất bán dẫn, lớp phủ chân không, quang điện và các môi trường ứng dụng khác.

Lợi thế chính

S1Mô-đun chức năng vật lý phong phú

Cấu hình trên cùng có các mô-đun chức năng phong phú:

* RJ45Giao diện truyền thông kỹ thuật số(Tùy chỉnh có sẵn

Thiết bị EtherCAThoặcSản phẩm RS485thỏa thuận)

* Công tắc mã hóa địa chỉ

* Hiển thị trực tiếp

* Đèn báo trạng thái

Ngoài ra, cấu hình bên cạnh cóM8Giao diện cung cấp năng lượng hàng không, hiển thị trực quan và hoạt động đơn giản, thuận tiện cho người dùng trong việc giám sát và kiểm soát lưu lượng tại chỗ.

S2Phản hồi nhanh

1.5msthời gian đáp ứng cảm biến,0,1 ~ 0,5 giâyThời gian đáp ứng của hệ thống thiết bị, nắm bắt kịp thời những thay đổi nhỏ về lưu lượng.

S3Độ chính xác cao

2.0%-Phần trămF.S.Toàn bộ phạm vi phân đoạn duy trì độ chính xác cao:

0,3% FS (≤30% FS)；1,0% S.P.＞30% FS)

S4Được trang bị máy thượng hạng chuyên dụng

Được trang bị chức năng mạnh mẽQuy trình thông minhPhần mềm máy thượng vị, hỗ trợ nhiều liên kết, thuận tiện tiến hành giám sát và cấu hình thiết bị.

S5Sản phẩm được chứng nhận

quaTÜVCơ quan quốc tếCE và EMCChứng nhận, hoặcJLYGiấy chứng nhận hiệu chuẩn cấp 1, v.v., phù hợp với nhiềuSEMITiêu chuẩn.

Thông số sản phẩm

* Trừ khi có ghi chú khác, sản phẩm này được đánh dấu trong các điều kiện sau: Nitơ, Nhiệt độ25℃、2,5 barÁp suất khác biệt(Cửa hút khí3,5 barÁp suất tuyệt đối đối với cửa xả khí1 bar

Áp suất tuyệt đối)Cài đặt ngang.

* Nên lắp đặt phần ống thẳng có kích thước phù hợp ở đầu vào, nếu không nó có thể gây ra độ lệch về độ chính xác.

* Nên kết hợp các khớp lớn nhất có thể ở đầu vào và đầu ra để tránh gây ra thiệt hại thêm.

1 Phạm vi hiển thị là phạm vi tùy chọn nitơ.

2% F.S.Nghĩa là lỗi chiếm tỷ lệ phần trăm của phạm vi đầy đủ.

3% S.P.Lỗi là tỷ lệ phần trăm của giá trị thiết lập.

4 Thời gian đáp ứng có nghĩa là đạt được giá trị cài đặt ±2%Thời gian cần thiết trong vòng.

5 Áp suất làm việc đề cập đến cửa hút khí và cửa thoát khí(1 bar)Áp suất tuyệt đối)Áp suất chênh lệch giữa chúng, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm chi tiết.

Kích thước và truyền thông