Nhà sản xuất máy làm sạch plasma thạch anh tinh khiết cao

Có thể đàm phánCập nhật vào01/18

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

VPS-QZ05 Quartz Vacuum Plasma Processor là một máy làm sạch plasma để bàn nhỏ được phát triển đặc biệt cho phòng thí nghiệm cần. Phòng xử lý là kính thạch anh hình trụ, bộ xử lý là loại điện cực ngoài ghép điện dung, không có điện cực bên trong.

Chi tiết sản phẩm

Giới thiệu sản phẩm

Máy xử lý plasma chân không VPS-QZ05 QuartzNó là một máy làm sạch plasma để bàn nhỏ cho phòng thí nghiệm cần được phát triển đặc biệt. Phòng xử lý là kính thạch anh hình trụ, bộ xử lý là loại điện cực ngoài ghép điện dung, không có điện cực bên trong. Tức là, năng lượng xả được áp dụng từ bên ngoài bộ xử lý, có thể tránh được sự ăn mòn của điện cực và vấn đề lắng đọng chất phản ứng trên tấm.

Máy xử lý plasma chân không VPS-QZ05 QuartzỨng dụng:PDMS liên kết, giới thiệu các nhóm chức cụ thể, xám plasma, sửa đổi kỵ nước bề mặt, cải thiện độ bám dính

Máy xử lý plasma chân không VPS-QZ05 QuartzTính năng：Quá trình xử lý sẽ không giới thiệu các chất gây ô nhiễm, hoạt động đơn giản, phù hợp cho các viện nghiên cứu, trường đại học, trung tâm R&D sử dụng

VPS-QZ05石英真空等离子处理仪

Thông số sản phẩm

model	Sản phẩm VPS-QZ05
tần số	13. 56 MHz
công suất	0-200W điều chỉnh liên tục
Vật liệu khoang	Quartz chất lượng cao
Khối lượng buồng	5L
Kích thước buồng	Φ150 × 290 (D) mm
Bộ điều khiển lưu lượng khí	Bộ điều khiển lưu lượng chất lượng MFC
Số lượng đường dẫn khí	2 cách khí, thường được sử dụng O2, Ar2, N2, H2, vv (khí ăn mòn cần được tùy chỉnh)
Hệ thống xác định chân không	ống silicon chân không pilani
Cực độ chân không	1 Pa
Phương thức kiểm soát	PLC+4.3 inch màn hình cảm ứng
Bơm chân không	Bơm dầu/Bơm khô (tùy chọn)
Cung cấp điện	AC220V / 50Hz
kích thước bên ngoài	550mm (L) × 450mm (W) × 500 mm (H)

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị