Máy móc hóa học tự động đánh bóng loại nào tốt?

Tổng quan:

Máy đánh bóng cơ khí hóa học RTEC CP-6 sử dụng phương pháp chuyên nghiệp để nghiên cứu và mô tả đặc điểm của quy trình CMP. Ngoài việc đánh bóng các wafer và chất nền, người kiểm tra đi kèm với một đường viền bề mặt trực tuyến. Sự kết hợp này cung cấp thông tin về nguyên nhân và cách thức thay đổi bề mặt, ma sát, mài mòn, v.v. Người kiểm tra cũng có thể đo một số thông số nội tuyến, chẳng hạn như ma sát, độ nhám bề mặt, lượng mài mòn, v.v., để hiểu chi tiết về quy trình.

Tính năng:

1. Tích hợp kính hiển vi 3D co-focus, có thể đặc trưng bề mặt pad đánh bóng với độ phân giải nm;

2. Ma sát nội tuyến, quá trình đánh bóng nghiên cứu phát xạ âm thanh;

3. Cảm biến nhiệt độ nội tuyến;

4. Nhiều kích thước wafer có thể được cài đặt;

5. Giảm áp suất và tốc độ có thể được kiểm soát.

Cấu hình tiêu chuẩn có nền tảng X, Y để di chuyển các tấm ép giữa các vị trí đánh bóng và hình ảnh. Ngoài ra, nền tảng XY giúp dao động các wafer trong quá trình đánh bóng. Việc sử dụng các tấm ép với ổ đĩa XY cho phép kết hợp ổ đĩa đa trục để tạo ra các chuyển động tùy chỉnh để mô phỏng các điều kiện thử nghiệm gần với môi trường sản xuất thực tế.

Cảm biến nội tuyến:

1. Mô-men xoắn - cảm biến mô-men xoắn nội tuyến có độ phân giải cao có thể nhận ra vị trí điểm cuối và mô tả bề mặt trong thời gian thực;

2. Âm thanh - tín hiệu âm thanh, cho phép kết thúc định tính hoặc giúp phát hiện các mảnh vỡ, khuyết tật trong quá trình đánh bóng;

3. Nhiệt độ - Giám sát nhiệt độ trực tuyến của đĩa hàn và khu vực gần bề mặt đánh bóng wafer giúp nghiên cứu cơ chế loại bỏ.

Lập trình tải, tốc độ:

Để tối ưu hóa quy trình, CP-6 cho phép điều khiển và thay đổi lực, tốc độ, tốc độ dòng chảy bằng phần mềm dựa trên công thức.

Dễ sử dụng:

Dụng cụ đo ma sát được trang bị tàu sân bay thay đổi nhanh, có thể dễ dàng lắp đặt wafer và pad. Phần mềm đi kèm với các công thức chuẩn kiểm tra được xác định trước hoặc có thể dễ dàng tạo ra các công thức tùy chỉnh mới.

Tích hợp 3D Profile trực tuyến:

Máy đánh bóng cơ khí hóa học Rtec được trang bị máy hồ sơ 3D tích hợp nội tuyến. Được tối ưu hóa, bề mặt pad được đánh bóng với độ phân giải nm có thể được mô tả cụ thể. Máy dò được trang bị chế độ co-focus+chế độ giao thoa kế+chế độ trường tối và chế độ trường sáng. Điều này cho phép nghiên cứu sự thay đổi bề mặt liên quan đến thời gian ở độ phân giải nm. Máy thử này cho phép tự khâu trên diện tích bề mặt lớn để thực hiện các phép tính thể tích, độ nhám.